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R21系列减压阀结 构 特 点:
1.单级式减压结构
2.膜片与母体采用硬密封形式
3.母体接口螺纹：1/4” NPT (F)
4. 安全压力：1.5 倍的最大输入压力
5. 适用温度：-40°C 至 74°C (-40°F 至 165°F)
6. 泄漏率：2 x 10-8 atm.cc/sec He
7. CV 值：0.14
8. 重量：0.9 kg (2.0 lbs)
材 质
Materials
1.母体：铜电镀，316L
2. 阀座：PCTFE，PTFE，Vespel?
3. 膜片：316L，Hastelloy?
适 用 范 围
1. 半导体制程
2. 实验室
3. 气相分析
4. 测试仪表
5. 石油化学工业6. 电厂设备
